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DRY洗浄 チラー新規製作メンテナンスサービス 電源修理サービス
真空ポンプ・クライオポンプメンテナンスサービス 半導体設備の設計・製作・修理 保全支援・省エネTOOL改良改善提案
製造設備メンテナンス 半導体東北地区連絡会

DRY洗浄

薬液を一切使用しない洗浄方法のため、治具類の母材に対してのダメージを抑える事ができます。DRY洗浄を導入することで、洗浄薬液のコストを削減すると共に、治具のダメージを抑える事により治具長寿命化・予備数削減効果も期待出来ます。

■石英の表面遷移(WET洗浄を繰り返すことで母材が劣化していきます。)

■石英表面の状態(フッ酸を使って15回洗浄した後の表面状態)

■石英表面の状態(DRY洗浄を15回繰り返した後の表面状態)

■セラミック表面の状態

DRY洗浄の例

■セラミックパーツ

■石英パーツ

■シリコンパーツ

DRY洗浄内製化のご案内

 

■DRY洗浄の効果

DRY洗浄内製化により、洗浄費の大幅なコストダウンに貢献します。
母材にダメージを与えない超クリーンでダメージレスな洗浄により、洗浄費以外の歩留まり
UPや冶具長寿命化・予備数削減効果も期待出来ます。

■お客様の工場へDRY洗浄工場を立ち上げます。

弊社との包括的な契約を締結する事により、弊社のもつDRY洗浄に関するノウハウを始め、
洗浄装置、洗浄レシピ、洗浄方法、洗浄設備操作教育など、超クリーンな洗浄技術を一括で
ご提供致します。

■お客様とのパートナーシップを構築します。

「内製化成功」の鍵は、お客様とのパートナーシップです。
 DRY洗浄技術は、お客様と共に進化を続けていきます。

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チラー新規製作、メンテナンスサービス

チラーの新規製作/オーバーホール/部品販売

■新規設計・製作(リニューアル含)

・製作可能温度帯:-65℃ ~200℃
・温度安定度:±0.5℃以内
・循環液:純水及び各種指定ブライン
・循環ポンプ:マグネットポンプ
・フロン対策
・既存チラーとのインターフェイス開発

■オーバーホール・修理

NESLAB他, 様々なチラーのオーバーホール・修理に対応
・A社製装置の付帯チラー
・T社製装置の付帯チラー
・U社製装置の付帯チラー
・その他のチラー各種

NESLAB シリーズの修理・オーバーホール・改善

■流量低下、温度異常、異音などの修理
■オーバーホール
■MTBF向上などの改善

NESLAB  HX-150  NESLAB  HX-300

AMAT-xx  NESLAB SYSTEM-Ⅲ

修理・オーバーホール対応

<メーカー>

・伸和コントロールズ
・SMC
・リッシー
・タイテック
・大同工業

<機種>

CH1-L1-D0,CH1-H1-D0,CH1-CP-D0,CH1-CP-D5
INR-341-42B,INR-341-60,INR-498-012D
EXシリーズ, CS-1100, CS-1500
EH-1500BW
DR-203,DRS-7GN

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電源修理サービス

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-1

必要に応じて製造装置(実機)での出荷検査を実施致します。

■プリント基板修理

汎用部品を使用したものは、殆どが修理可能です。
オーダーメイドのASIC、プロテクトのかかったプログラマブルIC、ハイブリッドICなどが搭載されたものでも、それが故障していない場合は修理が可能です。
また、同じものが2枚ある場合には、1枚が修理可能になる場合があります。

 

 

■モータードライバ修理

使用モーターを一緒に提供して戴けますと、確認が行えて確実な修理が出来ます。
UDX5107,UDX5114,UDK5128 各種

■DC電源・RF電源修理

DC電源・RF電源の場合、必要に応じて製造装置(実機)での出力確認まで確実に行って出荷致します。
SA-1,MA-1CY,VMA-1,OEM-25B,OEM-2000,OEM-12B,RF10S
LF10A,AX-1000Ⅱ,MFG-20SA3,LP-200-400KB,LP-150-800KB 各種

 

 

■各種コントローラー・モニタ修理

様々なコントローラー・液晶パネル等の修理もご相談下さい。
入出力のコネクタに関する情報があれば、更に確実な修理が可能です。

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-2

■基板総合修復

「電子回路基板の修理」
IC、コンデンサー、抵抗、トランジスタ等、部品の交換

「電子回路基板が老朽化で信頼性が無い」
フロンによる超音波洗浄を実施すると信頼性が飛躍的に改善

「電子基板の接触不良」
基板のコネクター部分、マザーコネクターピン部分の20ミクロン前後の硬質金メッキを施し、接触不良を改善

「基板内パターンの欠損」
銅の微粒子にて欠損部分を修復

「電子回路基板の破損、焼損」
破損。焼損部分を部分的に切り取り、エポキシガラスをコーティングし、乾燥、整形、回路パターンを形成します。

各種電源ユニット・プリント基板・ロボット修理サービス-3

■ロボット修理

・ASYST(MECS)製ロボット:UTCシリーズ・UTXシリーズ・UTWシリーズ
・BROOKS製ロボット:ATMシリーズ・REシリーズ
・アライナー各種
・ウェハ移し替え機各種
・TAZMOクリーン搬送装置

※主に200mmWafer用以下のロボットとなります。詳細はお問い合わせ下さい。

■修理手順について

修理発生 ⇒ 修理品送付 ⇒ 事前見積もり ⇒ ご注文 ⇒⇒ 修理作業 ⇒ 出荷 ⇒ 実機動作確認

※事前見積もりは無料です。金額面でご依頼頂けない場合は、無償にて修理品を返品致します。

■修理実績一覧

修理実績】  (部品入手が困難な場合や、故障個所によっては、対応不可の場合がございます)
品名 メーカー 特記事項
RF電源 SA-1  
RF電源 ST-1  
RF電源 MA-1CY  
RF電源 VMA-1  
RF電源 OEM-25B  
RF電源 OEM-2000  
RF電源 OEM-12B  
RF電源 RF10S  
RF電源 LF10A  
RF電源 AX-600  
RF電源 AX-1000Ⅱ  
RF電源 MFG-20SA3  
RF電源 LP-2000-800M  
RF電源 LP-200-400KB  
RF電源 LP-150-400KB  
RF電源 RFK20Z  
RF電源 WGA-20A  
RF電源 NGA-30C  
RF電源 RF5S  
RF電源 RF20R  
RF電源 GMW-25  
RF電源 GHW-25  
RF電源 VMA-1  
RF電源 LF10A  
RF電源 LF5  
RF電源 DRFS-10SB26  
RF電源 RP-300-2M  
RF電源 RP-3000-27M  
RF電源 CLF5000  
RF電源 CPS100S  
RF電源 CX600S  
BOT DIPボード 810-017003-005 実機確認サービス有
モータードライバ UDX5107N 動作確認ツール有
モータードライバ UDX5114 動作確認ツール有
モータードライバ UDK5128 動作確認ツール有
モータードライバ PMM-BA-5603-01  
ドライバ ADKB400BPFADA  
ドライバ UDDF50B5BW  
ドライバ UDDF50B2BV  
ドライバ ESLZ10CF1  
ドライバ ESB014CF1  
ドライバ ESA-LZ10DF2  
ドライバ MSD021A1X 動作確認ツール有
ドライバ MSD021P1EA 動作確認ツール有
モータ MSM021P1E 動作確認ツール有
AUTO TUNEボード(TOPマッチングボード) 810-015987-101  
コンデンサーボード 5A530418-01  
サーボドライバ PUOBO15EMW1PP  
タッチパネル ET1527L  
ピラニーユニット STYLE-GP-1000  
フィラメント電源 92-144-27002  
フィラメント電源 EMS-10-60-2  
フィラメント電源 ESM 7.5-300  
ボード 15S0548  
ポンプコントローラ QDP80  
マッチャー SRN1-2  
マッチャー AMU10E-2  
マッチャー MFM-20SA2  
マッチャー DAUMA-10N2H  
マッチャー AM-1000 ASM  
ラダー P-120M  
液晶モニター AS4612UT  
液晶モニター LCD-A155GW  
液晶モニター LMU-TK15AG7J  
CRT A902M  
CRT SD5904C  
四極電源 SL20P&N300X2470  
24V電源 P600-24  
AMAT製15V電源  
DC電源 EWS600-4E8  
DC電源 P600E-24  
DC電源 FIN01950-001  
DC電源 -15V 0010-20000  
DC電源 PS2383A  
DC電源 SPM502A606K  
DC電源 24V 0010-20211  
DC電源 24V 0010-75216  
DC電源 M63-7CCDDEEF-1F  
電源ユニット SBC17   USHIO  
E/S バイアス電源 EB9701  
電源 HV-PS4B  
電源 KDS-30350  
電源 MDX-L12  
イオンゲージコントローラ 332102  
LAPM PK55GB80  
PC ANO7011-25F  
PC FC98-NX  
TMPコントローラ TURBOTRONIC NT150/360  
TMPコントローラ PTI-300  
アナログコントローラ Y101S 10V-10V  
カソード電源 EMS600-1.6-DGB7  
クライオポンプヒータ SAMICON SUPER340  
SMCチラーコントロールユニット    
クライオ用 3PHモータコントローラ ON-BOAD 3PH MTR CONTROL インバータ国産化改造等・部品のKIT販売も賜ります
インバータ FRN3.7G9S-2  
LCユニット LCユニット  
Proface タッチパネル CGP370  
A8S用 ポンプ操作盤  
エバラ用モータドライバ DMD30  
UVランプ電源 MB-402/IM9A-AA03  
HVコントローラ 560-6590  
MUXボード 810-492571-002  
チラー用 SYSTEM-3基板 チラー用 SYSTEM-3基板  
ESC電源 810-017086-018  
VCEボード VCEボード  
ASSY.HSG.CAP DIV/PEAK DET(VCIユニット) 853-3708871-002  
SERIAL ISOLATOR 0100-35065  
マイクロ波電源 AX2115  
DTCUユニット DTCUユニット  
オゾンジェネレータ オゾンジェネレータ  
  TC-2000  
  HTC  
  PR2-100N  
モータ DC Motor M102M387
モータ BALDOR Motor M3116
モータ 遊輪 MCMI-11-1
モータ 動輪 MCMI-16-1
モータ AC Servo Motor MFA018HA5NSD
モータ AC Servo Motor MFA030HA2NSK
モータ AC Servo Motor MFA030HA2NSL
モータ AC Motor MK106-4DK.07.U
モータ AC Motor MK106-4DK.10.U
モータ AC Servo Motor MSM021A2NE
モータ AC Servo Motor MSMA021ABF
モータ AC Servo Motor MSM021A3E
モータ AC Servo Motor P50B04010DCL96
モータ 2Phase Motor PH264-01
モータ 2Phase Motor PH264-01GK
モータ 5Phase Motor PK596AEM
モータ Synchronous Motor S43H
モータ プラテンモーター SJMS-50A6AB
モータ Synchronous Motor SMK216A-GN-C9
モータ 5Phase Motor UPH566G-A
モータ 動輪 WMR-158-420
モータ 新明和BUILT-IN DDモーター B05-13-7
モータ STOBERギアードモーター PF-116
モータ AC Servo Motor HF-KP23G1
モータ 5Phase Motor C7602-90215HG
モータ AC Servo Motor HC-KFS43K
モータ AC Servo Motor HC-KFS23B
モータ MKSモーター 001-1575
モータ XR用ポンプモーター DA90LA-C
モータ AC Servo Motor F55184KCT10
モータ AC Servo Motor FS2164TCT10
モータ AC Servo Motor HA-SA502
モータ AC Servo Motor HA-SA202
モータ AC Servo Motor JS2014DN511
モータ DC Servo Motor RS-11-50-(003)-SP
モータ DC Servo Motor RSS-17-100-(005)-SP
モータ DC Servo Motor RSS-25-50-(04B)-SP
モータ DC Servo Motor RSS-25-50-(04B)-SP
モータ DC Servo Motor KXPM5120GD-CB(5GD100RA)
モータ AC Servo Motor USAHEM-02-TE31
モータ AC Servo Motor TS3510N38E13
モータ AC Servo Motor 62BM006DXEAS
モータ AC Servo Motor USAHEM-03DS52
モータ AC Servo Motor TS3510N39E10
モータ AC Servo Motor TS3510N34E13
モータ AC Servo Motor MSM042A5F
モータ AC Servo Motor MSM021A2NE
モータ AC Servo Motor MSM021A3NX
モータ AC Servo Motor MSM011P1A
モータ AC Servo Motor USAHEM-02-TE53
モータ AC Servo Motor HA-LH202G
モータ AC Servo Motor USAHEM-02TE16
モータ AC Servo Motor MSM4ACA2AX
モータ AC Servo Motor MSMA011C1F
モータ AC Servo Motor HA-FH55-UE-S1
モータ AC Servo Motor KBLM5120-AM
モータ AC Servo Motor MSM3AZA1N
モータ AC Servo Motor HA-FE13BD
モータ FFU C0094-0948-01
モータ GEARED MOTOR RB-35GM-SS001U2-24
モータ GEARED MOTOR RB-35GM-SS06U2-12
ドライバ AXL Driver 87-008145-03C
ドライバ INDEXER Driver 87-014873-01E
ドライバ 2Phase Driver AK-X120
ドライバ Stepping Driver ASD24A-AD
ドライバ Driver BH5-3691
ドライバ Driver BH5-3730
ドライバ 5PHASE DRIVER CSD5807N-P
ドライバ 5Phase Driver D207F-A1-1
ドライバ 2Phase Driver D-240
ドライバ 5Phase Driver DFU1514W-A2
ドライバ AC Servo Driver DV-461T
ドライバ AC Servo Driver DV468TB
ドライバ AC Servo Driver DV468TC
ドライバ AC Servo Driver DV85018HA501
ドライバ AC Servo Driver DV85018HA502
ドライバ 5Phase Driver EKS4017
ドライバ STAK PAK IST4-1404-W01
ドライバ SERVO PACK JUSP-NS300(SGDH-04AE)
ドライバ LINEAR SERVO DRIVER LD0560
ドライバ AC Servo Driver MQDB011AAD01
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-10A
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-10A1
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-20A
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-40A
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-10B
ドライバ AC Servo Driver MR-J2S-20B
ドライバ AC Servo Driver MSD011A1X
ドライバ AC Servo Driver MSD011A1XX11
ドライバ AC Servo Driver MSD011A1XX18
ドライバ AC Servo Driver MSD021A1X
ドライバ AC Servo Driver MSD021A1XX10
ドライバ AC Servo Driver MSD021A1XX17
ドライバ AC Servo Driver MSD043A1XX
ドライバ AC Servo Driver MSD5A1A1X
ドライバ AC Servo Driver MSD5A1A1XX
ドライバ AC Servo Driver MSD5A1A1XX21
ドライバ AC Servo Driver MSD5A1P1EA
ドライバ SERVO PACK SGDS-01A31AY566
ドライバ 2Phase Driver UD2115A
ドライバ 5Phase Driver UDX5103
ドライバ 5Phase Driver UDX5107
ドライバ 5Phase Driver UDX5107N
ドライバ 5Phase Driver UDX5114
電源 DC Power Supply FYX600/63G-BGEe
電源 DC Power Supply E19321290
電源 DC Power Supply FSP300-60PLN
電源 AGVマルチ電源ユニット MCEZ-17-1
電源 SDRV-U SDP-D-1
電源 DDRV-U SDP-E-1
電源 E220 電源 XTI8-15
電源 DC Power Supply XF2335-N
電源 Power supply SU40P32L
インバータ インバータ FRN3.7G9S-2
インバータ インバータ FRN5.5G9S-2
基板 SCREEN基板 ZEBE-0011
基板 ALSPW基板 ALSPW
基板 基板 AAMPW12
ロボット シャッターユニット BG3-5450
バルブ VAT12ゲートバルブ 12036-PA14-0002/0103
置換え 有機剥離装置インデクサユニット X軸・Y軸(Steppingシステム)
置換え スクラバ M/Aユニット Y軸・Z軸(AC Servoシステム)
置換え スクラバ C/Sユニット Y軸・Z軸(AC Servoシステム)
置換え Mark 8 M/Aユニット Y軸・Z軸(AC Servoシステム)
置換え Mark 8 C/Sユニット Y軸・Z軸(AC Servoシステム)

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真空ポンプ・クライオポンプの修理・オーバーホール

■真空ポンプ対応機種

・エドワーズQDP-40 / QDP80
・EBARA Aシリーズ/ AAシリーズ

■クライオポンプ対応機種

・CRYO OB-6F、8F
・CRYO CT-8、8F(TORR-8、TORR-8F )
・CRYO CT-10(TORR-10)
・CRYO CT-250F
・ULVAC製クライオポンプ全機種
・クライオポンプコンプレッサ(アドソーバー交換、リーク箇所の対処)

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半導体製造装置(WET洗浄装置)の製作・改造・修理

■半導体用「洗浄装置」の製作・改造・メンテナンス

・修理
処理槽の液漏れ、扉の動きが良くない、生成物の発生・・・etc
下見から修理までを一貫してお引き受け致します。

・設計・製造
お客様のニーズに合わせて、設計・製作、立ち上げまで致します。
一品一様の装置をご提供致します。

・改善、改造
ポンプやバルブの交換、配管フローの変更、処理槽のサイズ・・・etc
装置トラブルを改善する為の、お手伝いを致します。

【その他】
薬液供給装置の製作、パーツ加工(樹脂、金属の加工・製作)、プログラムソフト設計・改造、装置の無害化・解体・・・などなど

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保全支援・省エネTOOL、改良改善提案

■設備の予知保全システム

本システムは、複数項目の装置データの監視工数の削減と、装置状態変化の原因究明と対策実施を支援するためのソフトウェアです。

コンディション・モニタリング・システム

■冷凍機故障予知ユニット(開発中)

■付帯機器故障予知システム(P-CMS)

真空ポンプ、チラー、ロボット等の故障予知を行うシステムです。加速度センサ・温度センサー・音響センサー等により付帯機器のコンディションを常時監視します。(MT法を用いています)センサの取り付けには、専用のステーを設計して提供致します。

付帯機器故障予知システム(P-CMS)

 

■省エネTOOL ・真空ポンプ電力削減ユニット:ECO-VAC (EBARA製AAシリーズポンプ用)

荏原製 AAシリーズ ポンプ電力削減ユニット

・eco-VAC外観

現状のPUMPを改造せずに簡単に取付可能現状のPUMPを改造せずに簡単に取付可能

1台 25,000円(税別)

 

 

 

 

 

・電力削減効果 ※設定により変動します。

ECO-VACによる電力削減効果

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製造設備のメンテナンス

■欠陥検査装置・測定装置メンテナンスサービス

トラブル対応・定期点検・移設作業・パーツ販売・リファブ等
・ウェハ欠陥検査装置
・重ね合わせ検査装置 
・ウェハ表面異物検査装置(パターン無し)
・ウェハ表面異物検査装置(パターン有り)
・薄膜ストレス測定装置 
・段差測定器
・レビュー装置

■ステッパーメンテナンスサービス

トラブル対応・定期点検・移設作業・リファブ等
・i線・エキシマ各種ステッパー

■ETCHING装置メンテナンスサービス

トラブル対応・定期点検・移設作業・リファブ等
・主要海外メーカーのエッチング装置

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半導体東北地区連絡会

株式会社デジタルネットワークは「半導体東北地区連絡会WEB&MALL」の公式スポンサーです。
東北地区連絡会に参画されているデバイスメーカー各社の交流を応援しています。
デジタルネットワークでは「半導体・東北地区連絡会」Webへ協賛頂ける企業様を募集しています。
詳細につきましては下記までご連絡をお願い致します。

 

東北地区連絡会に参画している半導体デバイスメーカー各社の情報共有WEBです。
参加を希望されるデバイスメーカー様、LCDデバイスメーカー様は、staff@semicon-tohoku.jpまで、
ご連絡下さい。半導体東北地区連絡会幹事会から返信連絡が届きます。

 

半導体東北地区連絡会モールです

製造装置向けのパーツ販売・サービスを掲載している半導体東北地区連絡会向けのWEBモールです。
東北地区連絡会会員様以外の企業様への販売も行っています。         
スポンサーになって頂くと専用の協賛社バナー・新着情報などの情報を連絡会会員様に向けて
情報発信することが可能です。

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半導体東北地区連絡会 主要提携先 個人情報保護方針